CGO-高低溫真空探針臺(tái)
簡(jiǎn)要描述：CGO-高低溫真空探針臺(tái)溫度范圍77K-675K(液氮)；可應(yīng)用于真空及常規(guī)環(huán)境；超高溫度分辨率；特殊客制低溫系統(tǒng)；具有*穩(wěn)定性
產(chǎn)品型號(hào)：CGO-2/CGO-4/CGO-6- 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間：2023-06-20
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CGO-高低溫真空探針臺(tái)
極低溫測(cè)試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
CGO-高低溫真空探針臺(tái)
高溫?zé)o氧化測(cè)試：
當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。
光學(xué)系統(tǒng)：
顯微鏡類(lèi)型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移動(dòng)行程 | 水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm |
光源 | 外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
CCD | 200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素 |
◆ 其他組件：
真空組件 | 分子泵組/機(jī)械泵/離子泵 |
冷源組件 | 50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機(jī) |
可選附件
超高溫配件 |
顯示器 |
轉(zhuǎn)接頭 |
射頻測(cè)試配件 |
屏蔽箱 |
光學(xué)平臺(tái) |
鍍金卡盤(pán) |
光電測(cè)試配件 |
高壓測(cè)試配件 |
分子泵組 |
激光系統(tǒng) |
氣敏測(cè)試配件 |
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